ICP（感应耦合电浆）分析技术可以定量测量材料的元素含量，范围为ppt到wt%。只有C, H, O, N和卤素不适用ICP测量。

　　固体样品会被溶解或者消化在液体中，通常是酸性水溶液。
　　将样品溶液喷入感应耦合电浆的核心中，电浆温度高达8000°C，在这样的高温下，所有的分析物种都会被原子化、离子化和热激发，然后它们可以被OES或MS侦测和定量。
　　ICP-OES vs ICP-MS: 两种技术的比较
　　ICP-OES可以测量从热激发分析离子的特定元素特性波长发射的光。这种发射光可以在分光计中分离和测量强度，通过和校正标准品进行比对，转换为元素浓度。
　　ICP-MS可以测量由高温氩离子电浆产生的元素离子质量。在电浆中产生的离子依据其荷质比分离，使未知材料可以被识别和定量。ICP-MS可以对各种不同的元素提供极高的灵敏度（即低侦测极限）。
　　应用范围
　　大量、微量和痕量元素的块材定量调查分析对于各种不同材料的大量和微量元素的高准确度测定质量控制和制程控制
　　分析规格
　　侦测讯号：光子(OES)或者离子(MS)
　　侦测元素：最多70种元素
　　侦测限制条件：ppb
　　深度分辨率：块材技术
　　影像/mapping：否
　　优点
　　使用单一分析方法可以测定许多元素（最多70种）。
　　有用的工作范围为几个数量级
　　可以自动化测量，进而提高准确度、精确度和产量。
　　将ICP-OES和ICP-MS结合起来是测量广泛元素的浓度是非常有效的分析技术，在测量主要成分可以达到非常低的程度（通常是~ppb），同时具有高准确度和高精确度。
　　技术限制
　　为了分析感兴趣的元素，在进行分析之前，必须要将分析的样品完全消解。
　　如果感兴趣的波长非常接近其他元素的波长，发射光谱就变得非常复杂，而且可能会有元素干扰。
　　在质谱中，主要的基质元素以及其他的分子种类会干涉某些元素的测量。
　　带有多电子或多原子的离子种类会造成定量上的困难。
　　产业应用
　　航天工业
　　溅射靶
　　化学品
　　合金生产商
　　食品/饮料
　　地质
　　制药
　　环境水、废水和处理水